產(chǎn)品中心
CD4
- 應(yīng)用領(lǐng)域：類載板（IC）
適用制程：內(nèi)、外層
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技術(shù)特點(diǎn)
- 高解析
分區(qū)對位
高精度、高對準(zhǔn)、自動(dòng)實(shí)時(shí)對焦
能量自動(dòng)監(jiān)測
易操作
設(shè)備參數(shù)
- 最小線寬/距：4/4μm
產(chǎn)能：55片/小時(shí)
對位精度：±3μm
最大板尺寸：18"*18"
層間對位精度：6μm
資料分辨率：0.25μm
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